二手 SEMILAB / SDI RT-100 #9202582 待售
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SEMILAB/SDI RT 100是一種強大的掩模和晶圓檢測設備,專為高吞吐量、自動化生產線應用而設計。它為客戶提供精確、高分辨率的掩模和晶圓缺陷成像以及形狀信息。SDI RT 100利用SDI專有的掃描電子束檢測(SEBD)技術檢測缺陷和粒子。它使用戶能夠檢查各種半導體器件,包括但不限於DRAM、SRAM、CMOS、Bi-CMOS、SOI和砷化銨(GaAS)技術。該系統利用雙軸x-y級檢測和分析掩模和晶片缺陷,利用分段晶片級對形狀和特征進行深入分析。它具有很高的可重復性,可確保在獲取數據時獲得可重復的結果,從而使用戶能夠可靠地檢測到小缺陷。SEMILAB RT 100具有高速X射線源,用於精確測量器件內部結構,允許檢測缺陷,測量電路的完整性,為制造過程提供質量保證。該單元還具有SEMILAB專有的多縫算法,用於自動縫合多個圖像,以實現最大分辨率和準確性。其Tracking and Correlation算法檢測和跟蹤從一個圖像到另一個圖像的特征,允許用戶更詳細地查看缺陷。此外,RT 100的高級數據采集技術允許快速查明和提取缺陷、形狀輪廓和其他特征。其自動缺陷分類算法提供了缺陷的快速評估,包括根據其類型自動分類晶圓缺陷。綜上所述,SEMILAB/SDI RT 100是一款用途廣泛、可靠的成像機器,旨在為客戶提供高分辨率的蒙版和晶片圖像。它配備了強大的高吞吐量檢測和自動化數據分析技術。憑借其先進的檢測能力,用戶可以在生產過程中確保質量最高的產品。
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