二手 SEMILAB / SDI WT-2000 #9259516 待售
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SEMILAB/SDI WT-2000是一種掩模和晶片檢查設備,其目的是為光刻和計量應用提供檢查能力。它設計用於檢測、采樣和測量晶片和掩模,具有高精度和重復性。該系統具有雙頭光學單元、專有控制機器和高級專有圖像分析軟件。面罩和晶片檢測工具配備1kx1k CCD攝像頭和雙頭照明控制,確保晶片和面罩表面的均勻照明。該資產能夠以高精度一次通過檢查整個晶片。此外,該模型在脈沖照明狀態下工作,以補償表面地形的微小差異,從而產生一致的結果,整個晶片。高級圖像分析軟件允許檢測缺陷,例如臨界尺寸和曝光錯誤,同時檢測晶圓結構的變化。它結合了全晶片分析和隔離臨界區域分析,從而確保了缺陷的詳盡檢查。此外,高端自動缺陷檢測設備使系統能夠檢測到微妙和孤立的晶圓缺陷,否則這些缺陷很難識別。專有的控制單元使操作員能夠在單一、統一的硬件中控制攝像機、照明、舞臺位置和光學機器。它還允許與外部統計過程控制和數據采集系統相結合,從而能夠快速分析晶圓和掩碼數據。此外,該工具可以與晶片跟蹤器集成,確保晶片在機器中移動時的精確跟蹤。綜上所述,SDI WT-2000是一種完整、高精度的掩模和晶圓檢測資產。它設計用於精確和可重復性的檢查、采樣和測量晶片和掩模,而其先進的圖像分析軟件和專有控制模型則提供了與外部統計過程控制和數據采集系統的無縫集成。此外,設備在脈沖照明狀態下工作,以補償表面地形的微小差異,確保整個晶片的結果一致且可重復。
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