二手 SEMILAB / SDI WT-2000D #9250076 待售

SEMILAB / SDI WT-2000D
ID: 9250076
Measurement system.
SEMILAB/SDI WT-2000D是一種用於半導體生產工業用途的掩模和晶圓檢測設備。利用高分辨率遠心光學系統,能夠檢測直徑達300 mm的晶片上的缺陷。此單元包括對齊器、圖像捕獲設備和機器人處理模塊。機器確保精確晶圓對準使用空氣對準成像工具。為了確保快速、準確的圖像捕獲,此資產使用冷卻CCD攝像頭,該攝像頭具有低噪聲讀數和1GB/s的數據速率。該相機能夠以2048 x 2048的分辨率捕獲靜止幀和視頻流。機器人處理模塊能夠處理所有晶圓和掩模尺寸,同時提供精確和可重復的運動。它還提供精確的晶圓平移和序列操作。此外,控制模型與視覺設備集成,使機械臂能夠根據檢測信息直接操縱晶片。該系統還能夠使用高速縫合算法檢測晶片上的圖樣(如IC設計中使用的圖樣或掩模上的斑點)或光刻誤差,檢查晶片和掩模。它也使用減少斑點的技術來改善對比度和減少噪音。該裝置還利用SDI專利模具:探針工具準確識別和記錄晶圓上每個模具的X、Y和Rotation角。SDI WT-2000D提供全面的計量和分析工具,以提高準確性和生產率。它還提供各種缺陷顯示,如假顏色、顏色編碼熱點和灰度顯示。這些顯示突出顯示有錯誤或缺陷的區域,以便於識別和修復。該機器采用最先進的算法和軟件,能夠快速發現問題並縮短檢查時間。它還配備了提供準確可重復性分析的高級審查功能和統計審查。此外,用SEMILAB對機器進行校準,以確保準確的結果。總體而言,SEMILAB WT-2000D是為滿足半導體行業的具體需求而設計的強大而可靠的工具。它能夠可靠地檢查晶片和口罩,並快速查明缺陷,使其成為生產的理想選擇。
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