二手 SEMILAB WT-2000 #9299523 待售

SEMILAB WT-2000是一種高精度的掩模和晶片檢查設備，設計用於對平面地形進行自動化、非接觸式、高分辨率的測量。它基於聲學成像振動測量技術（AIV），測量物體對聲音脈沖的振動和響應。該系統能夠測量分辨率低於0.5nm的尺寸,並能夠高速實現全面積非接觸式測量。SEMILAB WT2000單元包括兩個主要組成部分：聲學成像振動測量頭和高分辨率成像機。AIV測量頭負責產生聲波脈沖，接收反射信號，並將其處理成數字信號。該工具能夠在高達2 µm的測量範圍內獲取軸向分辨率優於0.5nm的高分辨率地形數據。AIV測量頭的時間分辨率設置在125到500 ns的範圍內。該成像資產由522 nm可見激光組成,由AIV測量頭發出的光纖耦合提供動力。這種激光照明的圖像被高分辨率的數字成像模型放大，並被數碼相機收集。高分辨率成像設備基於像素大小為3.45 μ m的CCD相機,可提供高達250倍的放大圖像。WT 2000控制系統負責控制AIV測量頭的孔徑，以優化測量面積，同步成像單元的激光束觸發器，等等。用戶友好界面為高效可靠的操作提供了對機器功能的輕松訪問，包括自動掩碼對齊過程、用戶友好導航菜單，甚至存儲測量參數的軟件功能等幾個標準功能。除基本工具外,SEMILAB WT 2000還提供了一系列用於晶圓和掩模檢查的附件。這些附件包括用於表面粗糙度和地形剖面的特殊掃描石英探針、用於向樣品充電的用於濕張力分析的充電器模塊、用於小物體可視化的顯微鏡相機、用於觀察小結構的光學顯微鏡以及用於測量電導率的渦流傳感器。總之，WT2000是一個強大的、高精度的掩模和晶圓檢測資產，具有極好的可重復性和準確性。它的混合方法結合了聲學成像振動測定法和高分辨率成像模型,能夠快速簡便地測量高分辨率和高速度平面的地形、尺寸、粗糙度和電性能。