二手 SONY IRG-12 #293665056 待售

SONY IRG-12是一種用於生產集成電路的掩模和晶圓檢測設備。它旨在對用於生產集成電路的高分辨率圖樣掩模和晶片進行自動化、準確和詳細的檢查。該系統結合了高放大掃描電子顯微鏡（SEM）、光學缺陷檢測（ODI）、自動缺陷分類（ADC）和亞微米分辨率成像等多項先進技術。IRG-12單元使用具有高放大倍率電子光學掃描透鏡的掃描電子顯微鏡（SEM）來獲取高達1,000倍放大倍率的掩模和晶片圖像。該機采用了二次電子成像（SEI）、二次電子發射顯微鏡（SEEM）、X射線成像和掃描隧道顯微鏡（STM）等多種成像模式，以實現更大的分辨率和檢測表面缺陷。除了SEM成像，SONY IRG-12工具還包括光學缺陷檢測（ODI），用於檢測蒙版和晶片的缺陷位置和尺寸。該資產采用先進的算法和自動圖像處理技術來檢測細線圖樣中的缺陷,並檢測細微級以下缺陷的精確形狀和角度。為了進一步提高檢測的準確性和速度，IRG-12模型包括自動缺陷分類（ADC）來識別和分類缺陷。該設備采用基於深度學習的缺陷分類器，能夠區分各種物理缺陷類型，提供分區檢查的詳細度量結果。SONY IRG-12系統還包括用於口罩和晶片的高分辨率驗證的亞微米分辨率成像。它的高分辨率電子探測器能夠以先進的細節水平對微妙的表面結構進行成像。該單元還提供精確的圖像處理和模式匹配工具，以準確識別大面積的細微圖案。為了保證檢測結果的一致性和準確性，IRG-12臺機器配備了先進的質量控制工具。該工具自動執行溫帶監控，以保證穩定的成像條件，並提供定期的預防性維護操作，免維護操作。總之，SONY IRG-12是集成電路生產的先進檢測資產。它的高級功能和自動化系統為超高分辨率的掩模和晶片提供了可靠和準確的結果。