二手 SVG / PERKIN ELMER / BSL 661HT #9148931 待售

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SVG / PERKIN ELMER / BSL 661HT
已售出
ID: 9148931
Aligner.
SVG/PERKIN ELMER/BSL 661HT是一種面向半導體工業的掩模和晶圓檢測設備。它旨在為整個光掩模/晶圓制造過程提供最高精度和速度的高級自動化檢查功能。它采用模塊化設計,具有集成定制功能以滿足客戶個人需求的靈活性和潛力。該系統采用最新的行業標準和先進的視線引導檢查技術。這使操作員能夠精確地檢查掩碼和晶片到5微米的列像素大小。其顯微鏡和3D成像可提供高分辨率的結果,並具有自動化、高吞吐量的精度和速度。SVG 661HT的功能包括掩模檢查、晶圓檢查、光暈檢查和缺陷計數。該單元還提供先進的模式識別和測量功能,如隔離模式識別、鏡頭校正、可疑模式的自動識別、可追蹤性和多部分對準。其強大的圖像處理能力允許檢測缺陷和汙染物,計數缺陷和芯片,以及布局驗證。機器還可以有選擇地與各種面罩檢查系統集成,以補充或擴展系統的能力。在處理時間方面,BSL 661HT工具的傳輸時間為200納秒,用於縮短檢測周期,並行處理時間比其他競爭對手快400倍,以實現更快的掃描。該資產還能夠進行高速掩碼生產和探測,並提高吞吐量性能,從而縮短周期。最後,該模型具有用戶友好的環境和直觀的控制軟件,因此沒有經驗的掩碼/晶圓檢測人員可以輕松運行和管理設備。此外,還提供了一套用戶友好的工具、模塊和測試模式庫,涵蓋各種功能類型(行、通、墊等),以便用戶方便地量身定制自己應用的具體需求。
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