二手 TAYLOR HOBSON CCI MP-HS #293654291 待售
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TAYLOR HOBSON CCI MP-HS是一種口罩和晶片檢驗設備,設計用於提供不透明和半透明的口罩、晶片和網狀塗層的高分辨率檢驗。這種掩模和晶圓檢驗系統可以同時用於生產和開發/研發應用。它是一個自動化單元,與強大可靠的成像技術和先進的軟件集成在一起。這臺機器能夠以最高的效率捕捉高清圖像。CCI MP-HS對不透明的口罩提供5µm的檢測分辨率,對10,000:1的高動態範圍的薄膜堆棧提供40nm的檢測分辨率。該工具提供可編程的焦點,可以根據要收集的證據進行調整。它還提供高達1,000晶圓/小時的高速檢查,並且可以執行標準表面和3D物理缺陷檢查,以及參數和映射分析。TAYLOR HOBSON CCI MP-HS與幾種不同類型的材料兼容,包括Si、SiGe和III-V材料,以及氧化物、氮化物、聚合物和Cu金屬化層。此外,資產還能夠檢測微缺陷和透明度問題,這有助於提高產量、優化產品性能和降低成本。CCI MP-HS擁有一項專利的堆叠照明技術,可以對復雜樣品進行質量表面檢查,從輕薄膜到多角結構的晶片。而且,模型的照明透鏡使用戶能夠根據樣品的具體要求量身定制照明,提供更高的分辨率、對比度和對焦深度。除了便攜式設計外,該設備還集成了各種軟件包,如OTF Autofocus和Edge Trace,提供自動化和手動的樣本對齊,使其在保持高精度的同時減少人工幹預。該軟件還提供了低誤報率和強大的軟件分析能力,在各種各樣的樣品條件和材料上提供了高質量的檢驗結果。總體而言,TAYLOR HOBSON CCI MP-HS提供高分辨率成像和強大的軟件分析工具,以確保掩模和晶圓檢查的質量和準確性。該系統是集成生產線的理想解決方案,可提供自動化、高效和經濟高效的掩模和晶片檢查。
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