二手 TAYLOR HOBSON TalySurf 120 #9099036 待售

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ID: 9099036
Stylus profiler Traverse unit Motorized column attached to an epoxy granite base Computer interface module Software: Ultra K510-1036-02 (version 6) Inductive gauge unit with interchangeable styli Interface and control modules. Windows-based measurement/analysis software Traverse length 120 mm Straightness of traverse: 1.0 micron over 120 mm range Traverse speeds 1.0 mm / sec and 0.5 mm/sec (+/- 5%) Column traverse 450 mm Stylus range 6 mm range Stylus tip radius 1.5 - 2.5 micron Stylus force over full range 0.7 - 1.0 mN.
TAYLOR HOBSON TalySurf 120是一個全自動的面罩檢查和晶圓計量系統。該系統采用雙四軸磁頭配置,可提供高效、準確和可重復的抗塗層掩模和晶片測量。它效率高,每小時最多可檢查40個口罩和晶片。TalySurf 120利用高分辨率的5兆像素(MP)相機進行成像和檢查。它不僅能夠測量掩模上的特征,而且能夠測量晶片上任何具有檢驗質量的缺陷。相機采用先進的自動對焦技術,以極高的精度和速度捕捉圖像。它利用獨特的算法來檢測、分析和比較曲面特征,如圖案邊緣和線寬。此外,TAYLOR HOBSON TalySurf 120具有測量晶片上包括線寬、步長和顆粒密度等特征的能力,這對於測量過程控制偏差很重要。它可以捕獲亞微米特征,並以0.05微米的精度進行高精度測量。它還具有加載和執行允許個性化檢查過程的用戶定義檢查配方的能力。TalySurf 120配備了高級報告功能。它包括一個實時圖像顯示,其中包含對所檢查的每個功能的詳細描述。它還附有每次檢查的詳細統計信息,包括圖表、圖表和不合格區域清單。TAYLOR HOBSON TalySurf 120的軟件采用Microsoft Windows XP設計,使用方便。它有基本操作和創建檢查配方的方便用戶的教程。它還能夠生成具有詳細結果的自動報告,並且可以將報告導出為其他格式,例如PDF或HTML。TalySurf 120是一個功能強大且高效的系統,具有一系列檢查和測量掩模和晶片的功能。其先進的成像功能、先進的軟件和報告工具使其成為需要快速、準確的掩碼或晶圓檢查的企業的理想工具。
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