二手 TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150 #9168261 待售
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ID: 9168261
Non-contact 3D profiler
Vertical resolution: 0.1Å (0.01 nm)
Measurement noise: 0.2Å (0.02 nm)
Data points as standard: >1,000,000
Single measurement mode of operation
RMS Repeatability: 0.03Å (0.003 nm)
Measurement technique:
Coherence correlation Interferometry
Vertical range (Z): 100μm
Vertical resolution: 0.01nm [0.1Å]
Noise floor (Z): 0.02nm [0.2Å] 1
Repeatability surface RMS (Z): 0.003nm [0.03Å]2
Measurement area (X, Y):
0.25mm - 7.0mm (square area)
1024 x 1024 standard measurement points
Optical resolution (X, Y): 0.4 - 0.6μm
Step height repeatability: 0.05nm (25 nm step) / 0.1%
Linearity (Z): 0.03% of measured value
Surface reflectivity: 0.3% - 100%
Measurement time: 5-20 seconds.
TAYLOR HOBSON TALYsurf CCI 9150是一款為半導體行業設計的掩模和晶圓檢測設備，利用最新的非接觸式光學輪廓測量技術，能夠快速準確地測量和分析半導體晶圓。這套系統配備了專利的動態聚焦單元，允許0.5至500 mm的測量範圍，非常適合不同尺寸的晶圓。CCI 9150具有1.5nm的低噪聲能力和0.05um的高分辨率選項,可讓用戶獲得準確的結果。這臺機器還有一個自動化的數據收集，可以一次收集多個晶圓的數據，減少了檢查每個晶圓所需的時間。利用先進的成像技術，工具可以分析主晶圓平坦度、步高、屈服度等變量。這有助於提高晶片的精度並提供可靠的可重復測量。Talysuf CCI 9150旨在通過提供有效的晶片測量和分析來降低生產成本。這是通過提供可以與生產團隊無線共享或遠程訪問以供查看的數據來完成的。自動功能比較有助於識別生產後產品之間的任何差異,並通過在缺陷出廠前檢測到缺陷來節省寶貴的時間。該資產設計用於其他操作,如手動測量、多層晶圓映射和數據分析。利用先進的軟件功能，CCI 9150可以比傳統方法更準確、更好的分析晶片。總的來說，TalySurf CCI 9150是生產和分析晶片的理想工具。CCI 9150采用最先進的光學輪廓測量技術，可以對晶片進行可靠、準確的測量和分析。該模型的自動化功能和數據收集功能降低了生產成本,同時提供了一種可靠且可重復的方法來測量和監視晶片。
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