二手 TAYLOR HOBSON TalySurf i-Series #9233424 待售
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ID: 9233424
Automated surface and contour inspection system
5mm 120mm
Frame
Desk
Granite
(2) Stylis
Surface roughness
Gauge range: Up to 5 mm
Resolution: Down to 0.4 nm
Roughness:
Noise: Less than 6 nm Rq
Contour:
LS Arc measurement: < 3.3 μm
Pt < 0.25 μm.
TAYLOR HOBSON TalySurf i@@-Series mask and wafer inspection equipment is a highely efficient and pressive solution for automated optical inspection of mask and wafer.它是一個執行多角度成像的多傳感器檢測系統,使得在制作掩模和晶片的過程中能夠檢測和糾正缺陷。I-Series融合了幾項技術創新,包括「智能」光學單元、增強的模式識別功能以及直觀、易於使用的檢測界面。TalySurf i-Series具有強大的變焦鏡頭和高分辨率CCD相機,可快速精確地檢查蒙版和晶圓表面。「智能」光學機器通過在廣闊的視野中快速選擇預設的檢查點,可輕松導航掩碼和晶片圖樣。這確保了檢測由於掩模和晶圓設計的復雜性而可能逃脫常規檢查技術的缺陷。I-Series配備了先進的Pattern Recognition功能,使用算法區分遮罩和晶圓上的缺陷和清潔區域。這樣可以提高準確性並產生快速、可靠的結果。i-series還具有監測和分析工具,能夠對大型模式進行統計分析,並跟蹤局部的小缺陷。I-Series還有一個簡單而直觀的用戶界面,具有諸如跟隨用戶查看區域的交互式「看見眼睛」光標等功能。這樣可以快速、精確地導航復雜的掩碼和晶圓圖樣。該工具還具有強大的報告功能,允許用戶輕松記錄檢查結果。TAYLOR HOBSON TalySurf i-Series蒙版和晶片檢查資產提供了對蒙版和晶片的高度精確的光學檢查,能夠在制造過程中檢測和糾正缺陷。精密的「智能」光學模型、先進的Pattern Recognition功能、直觀的用戶界面相結合,使i-Series成為半導體行業強大的檢測工具。
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