二手 TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 #293587749 待售

TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 （T.A.M. MAC-92）是一種掩模和晶圓檢驗設備，設計用於滿足半導體制造所需的嚴格的光掩模和晶圓臨界尺寸（CD）測量和檢驗要求。T.A.M. TOKYO AIRCRAFT MEASUREATION MAC-92是一種高速、高精度、非接觸式掃描顯微鏡，能夠提供到微米級的分辨率。它采用了場發射掃描電子顯微鏡（FESEM）和激光共聚焦顯微鏡相結合的亮場成像系統，能夠對圖樣樣品進行快速、準確的測量和檢查。該單元可以配置幾個選項以提高其性能和準確性，包括使用具有可變掃描大小和掃描速度的高靈敏度4通道檢測器。探測器還包括一個特殊的高靈敏度函數，確保小尺度模式的精確測量。此外，該機還包括雙通道激光幹涉儀微位移級，可實現最小位移的高精度級運動。T.A.M. MAC-92提供了針對缺陷微型掩模缺陷或晶圓半導體層的高級模式檢查功能。有一個模式檢查器選項,它允許定義最多四種自定義缺陷類型。此外，該工具還可以使用光學或電子束成像來分析各種遮罩層的圖樣。該資產還為各種表面層和超低k層提供了先進的掩碼和晶圓故障檢測功能。該模型設計方便用戶，易於操作。它具有一個帶有圖形用戶界面（GUI）的觸摸屏面板,顯示所有關鍵參數和設置,有助於確保高效的操作和維護。設備內置了自動校準過程，以確保系統的準確性。T.A.M. TOKYO AIRCRAFT MEASUREATION MAC-92是高精度掩模和晶圓檢測的理想選擇。它能夠在微米尺度上進行精確、可重復和快速的測量，並提供了確保半導體制造精度和質量的最可靠和可靠的手段。