二手 TOPCON VI-3200 #9157679 待售

TOPCON VI-3200是為半導體工業設計的高精度掩模和晶圓檢測設備。利用自動化功能,系統提供了先進的缺陷檢測功能,並具有快速準確的缺陷隔離功能。該裝置的設計符合半導體晶圓和掩模檢查的質量和精度要求。該機采用高分辨率光學顯微鏡和激光誘導損傷減少（LIDR）技術。光學顯微鏡為晶片的精確檢查提供了1nm的清晰度和準確性,而LIDR技術識別並消除了可能影響晶片功能的關鍵缺陷。先進的圖像處理和分析軟件使小斑點尺寸的檢測成為可能，並帶有全向表面缺陷檢測、圖像邊緣檢測、線路缺陷檢測、模式匹配以及先進的模式檢測功能。此外,該工具還提供了諸如光盤檢測、刷新時間控制、凹形/凸峰分析、薄膜厚度分析、圖像元素尺寸和形狀分析以及位置模式識別等自動測量啟用程序。VI-3200還支持手動SEM查看、推桿、可變聚焦光束和動態分析等檢查例程。這些功能使資產能夠精確測量諸如翻轉芯片顛簸和焊球等特征,以及諸如粘附或蝕刻速率等金屬薄膜問題。該模型還支持圖像縫合和差分檢測以實現全晶圓識別，以避免來自相鄰結構的任何幹擾。利用直觀的用戶界面和集成的控制設備,TOPCON VI-3200提供了簡單的操作和快速的性能反饋。它兼具先進的特性、先進的檢測能力和易用性，是各種半導體晶片和掩模檢測的理想解決方案。