二手 TOPCON WM 2500 #9239634 待售

TOPCON WM 2500
ID: 9239634
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
Wafer particle inspection system, 6" 2001 vintage.
TOPCON WM 2500是一種用於半導體晶片執行2D和3D計量和缺陷檢測的掩模和晶片檢測設備。該系統是一個全自動、超精密的檢測單元,能夠實現高精度和快速吞吐量,並具有廣泛的缺陷檢測能力。該機結合了高品質的電動XYZ級、先進的High-NA光學器件和自動晶圓映射功能,以防止晶圓運動的任何錯誤註冊。檢查工具能夠檢測各種缺陷,如結核、凹坑、空隙、劃痕、拉回和其他非理想特征,如晶圓表面的切口或顆粒。WM 2500配備了一個5百萬像素攝像頭,可實現高分辨率深度成像,最大分辨率為2.5微米。多虧了電動Z軸,從4「到8」的各種晶圓尺寸可以很容易地容納。它允許檢查不同厚度的晶片。這在檢查需要額外放大以檢查各種缺陷的較大晶片時特別有用。自動映射功能與資產軟件相結合,可確保在每次曝光時準確定位晶圓的位置和移動。該模型由強大的軟件支持,該軟件可自動檢查整個晶片表面,從而能夠快速檢測任何正面或背面的非理想特征。該軟件對用戶友好,允許對自動化過程進行無限控制,使設備非常通用和高效。該系統可以輕松地集成到潔凈室環境中,並具有完全的電源和自動定心功能。此外,該單元可以與任何標準的筆記本電腦一起操作,並擁有全面的內置數據記錄機。TOPCON WM 2500為晶圓檢測需求提供了可靠、精確的解決方案。這種自動化工具可確保快速準確地檢測半導體晶片上的任何非理想特性,使其成為任何制造環境的理想選擇。
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