二手 TOPCON WM 2500 #9266612 待售

TOPCON WM 2500
ID: 9266612
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
Wafer particle inspection system, 6" 2001 vintage.
TOPCON WM 2500是一種用於精確檢測和測量半導體晶片和掩體缺陷的掩模和晶片檢測設備。該系統能夠檢查各種晶圓尺寸(最大8英寸/200毫米),並測量低至0.33微米的缺陷。該光學元件采用4倍遠心鏡頭,可在90毫米寬的視場內放大率變化。照明裝置使用LED光源,提供均勻、均勻的模式,功耗低,不會損壞晶片。WM 2500結合了彩色CCD圖像傳感器和先進的數字圖像處理算法來檢測和測量缺陷。該機采用具有缺陷檢測模式(DDM)和連續缺陷增強模式(CDEM)功能的亮場成像模式。DDM使用模式匹配和對比度增強來檢測各種類型的缺陷,如缺陷、顆粒、劃痕、針孔以及缺失或錯位的口罩。它可以檢測到圖樣區域內高達0.33微米大小的缺陷。CDEM掃描整個晶圓,用於檢測產生點缺陷或缺陷太小,無法通過光場成像進行可視化。圖像處理器還支持晶圓網格檢查和標記檢查。TOPCON WM 2500具有Novastar HPI高速模式檢查工具,用於分析各種形狀和特征大小。這包括臨界尺寸、傾斜度和結構的放置,尺寸小於0.1微米。資產還包括自動聚焦和自動定心功能。這種實時優化允許精確的檢查和測量,即使晶片從原來的位置移開。此外,該模型還包括完整的數據存儲和報告功能。可以存儲已檢查晶片的圖像以及以.csv和其他格式生成的報告。該設備能夠通過各種接口進行通信,包括以太網、USB和串行端口,從而允許遠程數據訪問和與外部計算機控制系統集成的能力。此外,WM 2500符合SEMI標準。總而言之,TOPCON WM 2500是一種可靠、用戶友好的掩模晶片檢測裝置,設計用於快速準確的缺陷檢測和測量。其遠心光學、先進的圖像處理算法、Novastar HPI檢測機以及廣泛的數據存儲和報告能力使其成為半導體制造和測試應用的理想選擇。
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