二手 TORAY Inspectra-1000EX-F #9353810 待售

TORAY Inspectra-1000EX-F是一種用於檢測光掩模、標線、光刻對準目標和晶片缺陷的掩模和晶片檢查設備。該系統利用高速掃描和先進算法進行自動化、高精度的光學檢查，以檢測各種缺陷。該單元配備了用於圖像采集的高分辨率CCD相機和用於定位的激光點，以及用於增強檢查的明場光源和暗場照明。Inspectra-1000EX-F能夠檢測各種關鍵缺陷,如顆粒、針孔、空隙和線條。它還利用先進的算法如高級模式識別算法來識別和分類關鍵缺陷。該機器包含一個圖像分析單元，對缺陷數據進行實時圖像分析和統計分析。此外,該工具還能夠精確、可重復地測量亞微米特性,如線寬、模具間距和CD值。TORAY Inspectra-1000EX-F還具有缺陷分類功能,可將檢測到的所有缺陷分為四類：關鍵、主要、次要和噪聲。缺陷的分類可以基於用戶定義的標準,例如缺陷大小、形狀或位置。此外，資產允許準確比較測量值和用戶指定的閾值，以進一步對缺陷進行分類。該模型有幾個選項,包括用於同時檢查晶片兩側的自動化程序,以及用於方便設備操作的交互式圖形用戶界面（GUI）。Inspectra-1000EX-F還包括多種通信協議和一系列信號集成連接器,用於與其他設備接口。最後，該系統還補充了一個易於使用的操作員培訓方案，以便對新用戶進行高效的單元操作和培訓。總之，TORAY Inspectra-1000EX-F是一種高度先進的掩模和晶圓檢測機，能夠對各種缺陷進行可靠準確的檢測。該工具具有多種功能,如自動雙面晶片檢查和缺陷分類,可確保它能夠準確高效地檢查光掩模、標線、光刻目標和晶片。