二手 TORAY Inspectra-1000SX III #9067501 待售

TORAY Inspectra-1000SX III是一種用於半導體後端制造幾代節點的高端掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了廣泛的先進組件，在掩模檢查、顆粒檢查和晶圓檢查方面表現出色。該單元是一個自動化模型，它包含一個全場、高分辨率的成像機，用於檢查掩模和晶片。它利用光學顯微鏡，能夠檢測從地下和表面粒子到包含分層、裂紋、汙染物和宏觀缺陷的各種缺陷。為了增強圖像，Inspectra-1000SX III有一個「缺陷增強過濾器」，它可以過濾和放大表面顆粒，以便於缺陷檢測和自動分類。該工具還利用了強大的梯度照明，在圖像采集過程中有效地消除了人工背景並增強了缺陷。它還利用高級自動對焦功能自動找到最佳對焦條件以生成最佳圖像。在準確性和精確度方面,TORAY Inspectra-1000SX III使用多種創新技術來提供一致和可靠的數據。它的「結構化照明」功能使圖像具有很高的分辨率,精度小於0.5微米。此外，該資產還配備了強大的自適應真色傳感器，與其他檢查方法相比，它提供了更準確的檢查。檢查模型被設計為極易配置,能夠接受幾個可選組件,如晶圓觸摸探頭、自動晶圓處理設備、全彩色監視器和自動缺陷測量系統。這使得該單元非常適合檢測高精度圖像，並在掩模和晶圓檢測應用中取得非凡的效果。總體而言，TORAY Inspectration-1000SX III是一種出色的半導體後端制造工藝檢測機器。它以先進的成像和照明技術提供高精度,而且其可配置性為優化檢查過程提供了多種選擇。這使得該工具成為以極高的精度和精確度檢查口罩和晶片的理想選擇。