二手 TORAY Inspectra #9313595 待售

TORAY Inspectra是一種掩模和晶片檢查設備，旨在有效測量晶片和掩模上的表面和地下結構。它具有先進的光學系統、激光掃描儀和模式識別算法,可提供對各種特征的精確測量。Inspectra的核心是獲得專利的光學、激光和掃描儀（OLS）單元,由高級激光、衍射光柵和光學透鏡組成。這臺機器設計用來向樣品發射一束調制激光，然後與樣品中的元素相互作用，產生獨特的信號。然後將此信號送入高分辨率CCD攝像機進行進一步分析。TORAY Inspectra的軟件組件具有模式識別和圖像增強功能。通過使用算法，對樣本上的特定特征進行識別和量化。根據應用，這種對圖像的詮釋可以用來確定特征大小、叠加以及其他與掩碼和晶圓完整性相關的重要特征。此外,Inspectra還具有實時測量功能,可實現校準和快速圖像捕獲。這項創新技術允許在最短的設置時間內快速測量樣品的特性。TORAY Inspectra還配備了一個流程監控工具，可以存儲數據進行分析。此功能允許深入查看示例隨時間推移的行為,以及與以前的事件和圖像進行比較。總體而言,Inspectra是一種有效、先進的掩模和晶圓檢驗資產.憑借其創新的OLS模型、先進的模式識別算法、實時測量能力，可以熟練量化特征大小、叠加等重要特性，確保質量控制要求得到滿足。