二手 TROPEL Flatmaster 200 #9116638 待售
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已售出
ID: 9116638
優質的: 1997
Flatness analysis system
Interferometer/laser with cable
Controller: currently non-operational
1997 vintage.
TROPEL Flatmaster 200是設計用於半導體制造的全自動掩模和晶圓檢測設備。它采用多種圖像處理技術,快速檢查和分析掩模和晶片的微電子模式、缺陷和感興趣的參數。Flatmaster 200配備了先進的高分辨率彩色成像系統、五軸運動單元、三級缺陷檢測機等多項技術。高分辨率彩色成像工具能夠以無與倫比的清晰度和分辨率捕捉蒙版和晶圓表面的詳細圖像。五軸運動資產允許精確測量和定位每軸最大行程500 mm的樣品區域。此外,三級缺陷檢測模型可確保檢測到掩模或晶片上存在的所有缺陷,無論其大小或模式類型如何。除硬件外,TROPEL Flatmaster 200還配備了各種軟件程序,用於功能強大、用途廣泛的掩模和晶圓檢測。視覺軟件提供了一個直觀的界面,用戶可以快速分析圖像並檢測到感興趣的模式、缺陷和參數。測量軟件允許分析臨界尺寸(CD)、線寬變化(LOV)和側壁角度變化(SAV)等臨界參數。此外,報告設備使用戶能夠方便地生成有關其檢查結果的全面報告。總體而言,Flatmaster 200憑借其創新的影像和運動技術、強大的視覺和測量軟件以及通用的報告系統,在市場上脫穎而出。這種掩模和晶圓檢測裝置提供了無與倫比的精度和精確度,是半導體制造中自動檢測的完美解決方案。
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