二手 TROPEL FlatMaster FM200 #9115976 待售

TROPEL FlatMaster FM200是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在提供各種基板上最具挑戰性陣列的精確、高分辨率圖像。它結合了先進的光學和成像技術，以1微米分辨率實現了卓越的精度和可重復性。該系統包括一個300 x 300 mm級，以容納包括4至8英寸晶圓和各種蒙版在內的多種基板。自動15倍物鏡精確聚焦在2毫米至200毫米之間,可提供高達80倍的放大倍率。先進的CMOS傳感器可提供高達106MP的分辨率,並允許更高的精度和更低的放大倍率。FlatMaster FM200是一個多用途、用戶友好的單元，允許所有類型的掩碼和晶圓檢查。它甚至可以檢測到顏色和亮度的單像素缺陷或像素到像素的變化。它具有自動檢測多類缺陷的能力，包括顆粒、條紋、劃痕、表面紋理、腐蝕、晶體結構、電鍍、水分、泄漏和掩模對準誤差。它具有定義可調整和校準的誤報的能力。該機包括一套保護功能，以確保最佳性能，包括離軸照明、均勻紫外線照明、照明偏振、先進的光學濾光片和先進的熱管理。它還配備了確保精確成像的軟件功能,如邊緣檢測、自動對焦、降噪、色彩校正、平面場校正、增強的質量控制和可打印報告。TROPEL FlatMaster FM200還提供了多種用戶友好的界面工具，允許操作員自定義設置參數，並為不同的檢查保存配置文件。該工具還包括有助於提供連續工作流的功能,例如自動異常報告,以及生成高放大圖像以進行詳細分析和進一步分類缺陷的能力。該資產還提供了一系列用於自動掩碼和晶圓缺陷檢測和分析的高級功能。高級算法用於準確識別、分類和量化缺陷。此外,一整套高級分析工具允許從各種圖像來源提取和分析數據。活動日誌和機器配置文件有助於維護歷史記錄和高效管理刀具性能。