二手 TROPEL Ultra Sort 150 #9390958 待售
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單擊可縮放
ID: 9390958
Flatness tester
Grazing: Incidence interferometer
With diameter 150mm
Graphic User Interface (GUI)
High precision robot
With prealigner
Cassette to cassette wafer transport capability
Robot end effector diameter 2" ~ 6"
NIST Traceable calibration
Verification assembly
Universal chuck assembly measures
Flatted, 2" ~ 5"
Notched various materials, 6" ~ 8"
Workstation: High speed
Operating system: Windows XP Professional
High-resolution, 17" LCD Monitor
Ethernet local area network interface
Extended range
Accuracy (XRA)
Typical sensitivities:
Wafers:
Polished 3 µm / fr
Lapped 5.5 µm / fr
Wafer thickness measurement
Repeatability = 0.3 µm (Sigma over 25 Measurement)
Temperature sensitivity of the ultrasort system: ~2 µm/°C.
TROPEL Ultra Sort 150是一款突破性的掩模和晶圓檢測設備,正在徹底改變半導體測量的精度。該系統利用先進的掃描和成像技術,快速準確地識別晶片和掩模上復雜形狀和結構的缺陷和不規則性。TROPEL ULTRASORT 150可以測量和檢查範圍廣泛的特征,包括單層、線寬和間距、覆蓋和配位公差,以及從十分之一納米到8微米的表面缺陷。該單元提供了卓越的可重復性和可靠性的頂級精度和準確性,因此操作員可以放心,他們的測量和後續結果是正確的。利用其自適應成像技術,Ultra Sort 150可以自動補償地形、圖案強度或背景環境等因素,以確保進行最準確的測量。這項技術還通過減少人工幹預來提高測量速度和準確性。除了先進的成像能力外,ULTRASORT 150還以其令人難以置信的直觀操作而引人註目。它提供了更為復雜的系統的功能,但用戶控制更為簡單。從樣本加載到數據捕獲和分析,每一步都簡單明了。總體而言,TROPEL Ultra Sort 150是一臺非常出色的機器,它提供了一種高效可靠的方法來快速檢查和測量關鍵行業應用中的晶片和掩碼。其先進的成像工具和直觀的操作使其成為各種半導體生產工藝的理想選擇,使其成為生產現場的寶貴工具。
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