二手 ULTRAPOINTE 1000 #9026314 待售
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ULTRAPOINTE 1000是一種用於對光掩碼、半導體光掩碼和半導體晶圓進行高分辨率成像和分析的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠以高達3.3 µm的分辨率進行晶片檢測,具有極好的精度和可重復性。1000利用革命性的掩模和晶片檢查技術,在掃描光掩模和晶片時提供無與倫比的性能,具有高精度和重復性。該單元由一個晶片步進器、一個或多個高解析度相機、一個鏡頭/光學接口以及一臺基於計算機的圖像分析和采集機組成。晶圓步進器提供了一種機器人機制,具有精確對準、光學元件和相機的能力。安裝在步進器上的高分辨率CCD攝像機獲取晶片頂部和底部的圖像進行分析。晶片步進器由一對抗振空氣隔離器穩定,以確保捕獲過程在晶片的平坦表面上穩定。ULTRAPOINTE 1000具有高效率的光學元件,由精密制造的組件提供,可提供高達3.3 μ m的分辨率。利用廣角光學工具最大限度地提高視野,使多個掩模/晶圓檢測點能夠同時進行分析。透鏡/光學接口直接安裝在晶片步進器上,允許精確設置最佳掃描場。基於計算機的圖像分析和采集資產提供了強大的軟件工具,使圖像能夠得到快速、準確的分析。先進的3D算法允許缺陷識別和檢查晶片的常見缺陷,如劃痕、灰塵、顆粒和其他汙染物。1000掩模和晶圓檢驗模型提供了現代半導體制造工藝所需的精度、重復性和高分辨率。其先進的光學和圖像分析設備提供無與倫比的性能在光掩模和晶圓檢查。利用該系統,半導體制造商能夠快速發現問題,從而加快生產速度,降低產品成本,最終改進向市場交付高質量半導體產品的工作。
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