二手 VITRONICS SOLTEC 104873 #9175105 待售
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VITRONICS SOLTEC 104873是利用UV-A LED(發光二極管)光源和專有的線路和邊緣掃描方法檢測IC(集成電路)晶片缺陷的掩模和晶片檢測設備。該系統采用多角度、擴散的UV-A LED照明,可從85微米調節到1600微米,以檢查直徑最大為150毫米(6英寸)的IC晶片。該單元包括一個非接觸式激光幹涉測量單元,通過將激光線投射到IC上並收集偏轉數據,使設備能夠測量臨界尺寸。這使得104873能夠檢測IC晶片印刷表面上和下面的缺陷。該機設計用於檢查多個掩模級別和特性,包括直徑不超過150 mm的IC晶片的光學對準特性。它配備了精確運動和舞臺工具技術,它將預先校準的反饋控制與線性電動機和伺服控制技術相結合,以確保降低控制響應範圍、提高精度和更好的可重復性。VITRONICS SOLTEC 104873是一種可靠的資產,具有高速度和高質量的性能,能夠以高達每小時2,500晶圓的速度檢查IC。該模型還包括功能強大且用戶友好的EH2 Graphical User Interface,它使用戶能夠輕松設置設備以進行全面測試,並實現最大限度的操作人工。此外,該系統還具有增強的MicroVision晶片對準(WA)功能,可用於檢測、測量和分析小型IC特性。該單元采用先進的算法和光學檢測工具進行設計,以確保精度和精確度。104873所使用的高級工具包括SEM(掃描電子顯微鏡),它可以比目視檢查更精確地檢測IC上的線寬和圖案。此外,它還使用基於掃描光學顯微鏡(SOM)的參數,使機器能夠以更高的分辨率檢查較大的區域。VITRONICS SOLTEC 104873還能夠進行背景檢查,其中包括使用模式識別算法掃描IC晶片,該算法識別和測量來自先前IC過程的粉塵、汙染物和汙染物等分子。它還可以測量線路/空間和圖像識別特征,使其適合半導體電路制造或檢查等應用。此外,該工具還采用板載微粒檢測技術,能夠檢測小於0.5微米的微粒。104873是檢查IC晶片的理想資產,因為它利用先進的光學工具來提供精度和精確度。此外,該模型還包括一個非接觸式激光幹涉測量裝置和增強的MicroVision晶圓對準器(WA)功能,可提供準確、可重復和全面的測量。此外,VITRONICS SOLTEC 104873適用於背景檢測和小分子檢測,是檢測IC晶片的理想設備。
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