二手 WYKO / VEECO RTI 4100 #9174418 待售
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ID: 9174418
晶圓大小: 4"
Interferometer, 4"
Operating system: Windows XP
Includes:
VEECO, 4" TF
Operating wavelength: 1064 NM.
WYKO/VEECO RTI 4100是半導體工業中最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統利用高功率顯微鏡分析晶片和掩模的微觀特征。利用亮場和暗場顯微鏡相結合,該單元的圖像處理算法能夠檢測和識別小特征尺寸的缺陷,最小特征尺寸分辨率為0.5 μ m。WYKO RTI 4100的敏感成像系統由四臺高解析度相機組成。這些相機用於掃描和分析樣品。兩臺較亮場相機的像素大小為6.7 μ m,而兩臺暗場相機的像素大小為4.3 μ m。這為機器提供了每個樣本所拍攝圖像的巨大細節,使工具能夠快速檢測和識別甚至最小的缺陷。除了四個相機外,VEECO RTI 4100還包含一個True Color Mechanism校正資產,用於分離不同顏色和不同波長的光,以便對樣品進行準確的顏色分析。這有助於進一步提高RTI 4100圖像處理算法的準確性,該算法能夠準確識別樣本中的不同缺陷特征。WYKO/VEECO RTI 4100也可以與WYKO自動缺陷檢查模型(ADIS)結合使用,以進一步增強其能力。ADIS實現了缺陷的自動檢測和分類,可用於質量保證和過程控制。這使設備能夠識別和隔離缺陷以獲得更詳細的信息,並提供詳細的報告,說明在生產過程中發現的缺陷以進行改進。WYKO RTI 4100被認為是同類產品中的佼佼者,其準確性和可靠性高,成本效益高。其高度靈敏度允許對樣品進行快速檢查,吞吐量為每小時20個晶圓工藝。還註意到它能夠提供關於所有類型的掩模和晶片的準確結果,並且能夠在各種生產環境中使用。總體而言,VEECO RTI 4100是一個強大可靠的掩模和晶圓檢測系統,精度和細節無與倫比。它旨在以快速、可靠和經濟高效的方式提供高質量的晶圓檢驗,使其成為半導體行業中必不可少的工具。
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