二手 WYKO / VEECO RTI #9234521 待售

WYKO/VEECO RTI Mask and Wafer Inspection Equipment是一種綜合機制，用於評估矽片、mask和其他半導體基板的完整性。它結合了多種技術，如光學顯微鏡、電氣測試和無損成像，以評估薄膜、新型結構和組件等樣品，等等。該系統的光學顯微鏡能夠以極高的分辨率對樣品進行觀測、成像和分析，小至1.0納米。它可以讀取各種格式如SEM、CCD或TIFF的顯微鏡圖像。顯微鏡有一個先進的圖像處理模塊，它使縫合、超分辨率和對比度增強等多種特性能夠分析特征和缺陷。WYKO RTI單元提供的電氣測試能力決定了基板的電性能。它涵蓋了廣泛的材料和集成微電路，從基本電阻器到高度復雜的結構。測試程序適合於使接觸、非接觸（使用電容耦合）或非接觸測試，並且可以測量電阻率、電容、阻抗等參數。此外，機器使用無損成像檢查樣品地形，檢測圖樣、晶粒大小、對準等特征。成像設備的設計采用了更好的對比度模式，允許更廣泛的應用。使用X射線、電子束和聚焦離子束技術可以收集精確的細節。高級軟件包支持數據處理和分析,允許錯誤檢測和糾正,以及使用自定義設置控制參數。從不同技術中獲得的數據可以組合在一起，組合成一個文件，從而可以對基材進行更詳細的分析。所獲得的數據可以以圖像或數據的形式呈現，以便進行進一步的檢查和分析。這種易於使用的工具對用戶友好,可以幫助提高研究和生產測試的效率,無論是在研究實驗室還是在制造中。