二手 ZEISS REG C #9386144 待售

ZEISS REG C是一種掩模和晶片檢查設備，能夠執行一系列自動化任務，包括表面和嵌入式缺陷檢查、地形評估和叠加計量。該系統將先進的運動性能與高分辨率和高靈敏度相結合，有效地檢查具有高分辨率放大倍率和自動化操作的掩模和晶片。REG C的高分辨率和高靈敏度使其能夠檢測其他檢測系統遺漏的缺陷。通過自動對焦控制，設備能夠保持高質量的缺陷檢測，自動運動確保機器能夠高精度地到達掩模和晶片上所需的任何區域。ZEISS REG C配備了一個軟件工具，使掩模和晶圓檢查過程自動化。軟件提供了用於掩碼對齊、叠加測量和缺陷定位的工具。通過自動化檢測過程，操作員可以利用軟件快速評估掩模和晶片數據，確保檢測的最高質量。此外，REG C借助場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）和掃描熱顯微鏡（STM）能夠進行廣泛的表面分析。FE-SEM能夠同時掃描高分辨率區域,而STM可以提供樣品表面的詳細分析。這種高分辨率和先進的表面分析相結合，可以對任何樣品進行深入檢查。ZEISS REG C是自動掩模和晶圓檢查的強大工具。其強大的自動化特性，加上高分辨率和敏感性，使其成為任何類型的檢查的理想選擇。通過將先進的運動性能、高分辨率和高靈敏度相結合，REG C為掩模和晶片檢測提供了可靠、經濟高效的解決方案。