二手 ZYGO 6024-0380-01 #293647232 待售

ZYGO 6024-0380-01是用於檢查和識別與半導體器件相關的缺陷的掩模和晶圓檢測設備。它利用雙激光系統創建幹涉圖樣，允許對基板上的單、雙、多抗蝕層進行成像。幹涉模式有助於檢測常見缺陷如空隙、粒子、短褲和其他異常。該單元利用一個可編程級（由高精度步進器或高分辨率精密線性電動機組成）來檢查盤片上多達160個晶片。此外，可編程級可以定制用於投影圖像的蒙版和晶片。該機采用66位彩色CCD相機，10X至200X放大倍率，700波段光譜儀，使其能夠高精度捕捉各種特征。6024-0380-01能夠以多種成像模式工作,範圍從共焦到廣角,再到近場/遠場。它利用脈沖寬度調制,以達到更高的掃描速度,而機動化的高度調整可在顛簸、凹陷和升高的曲面上實現優異的性能。保持光學元件可調,無需手動幹預,是該工具的一個關鍵功能。與資產關聯的軟件配備了圖像分析功能、工具箱和掩碼生成以及晶圓檢查。圖像分析工具可以檢測形狀、粒子和空隙以及短褲和條紋線的變化。該模型可以在20 nm到10 μ m的範圍內工作。在可靠性和耐用性方面，ZYGO 6024-0380-01設計為低停機時間，易於校準和維護。它使用可更換的、灰塵密封的過濾器，防止灰塵進入物體平面。此外,6024-0380-01已通過EMI、FCC和CE認證。總之，ZYGO 6024-0380-01掩模和晶片檢測設備為納米級的掩模和晶片檢測提供了一種高度通用、可靠的方法，使其成為生產應用的絕佳選擇。它具有多種特性和功能,可實現準確高效的檢查過程。