二手 ZYGO 7701C/E #9244741 待售

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ID: 9244741
優質的: 1998
Laser head P/N: 6191-0460-05 1998 vintage.
ZYGO 7701C/E是一種掩模和晶片檢測設備,為晶片制造和相關工藝提供了全面的解決方案。該系統支持2D、3D和輪廓測量,能夠以納米分辨率測量晶圓厚度、橢圓度、傾斜度、翹曲度等特性。它還支持背面和邊緣檢查模式。ZYGO 7701C/E由一個主控制單元組成,該主控制單元連接到用於運動控制的光學單元和用於測量的傳感器。機器包括一個照亮晶片的光學投影單元和一個相機工具來捕捉圖像。它還具有動態XY舞臺和垂直驅動的舞臺,為快速精確的物體定位而設計。ZYGO 7701C/E提供了對光學掩模的自動、無損檢查,以檢測設計和制造階段的缺陷。測量缺陷面積從0.5µm不等,並提供0.5µm或更高的缺陷檢測重復性。它具有高對比度成像功能,具有光學資產,可以檢測透明和不透明口罩上的缺陷。ZYGO 7701C/E設計用於晶圓、玻璃板和其他表面的自動檢查和大規模測量。它可以測量半導體晶圓、光掩模和顯示基板的晶圓直徑、平坦度和其他不規則性。它使用自適應光學確保精確的3D測量,並支持各種各樣的變形分析算法。該模型還配備了ZYGO業界領先的缺陷檢測和校準設備,使用戶能夠快速掃描和分析全陣列的標線。缺陷檢測系統識別線寬變化和著色效果以檢測和報告缺陷。集成校準單元通過調整機器的位置、操作參數、校準常數等設置,確保測量精度。ZYGO 7701C/E是一種高級工具,可為工具制造商和生產人員提供全面的缺陷分析解決方案。憑借其直觀的軟件界面、堅固可靠的設計以及快速準確的測量,它是對掩模、晶片和其他表面進行光學檢查的理想資產。
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