二手 ZYGO GPI LC #293747146 待售

ZYGO GPI LC是一種用於半導體、液晶和平板顯示器應用的下一代掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在提供自動化、高通量、3D成像和對高級光學薄結構的檢查。該單元利用數字光處理（DLP）技術進行3D成像,並利用自動高精度光學相幹斷層掃描（AHPCOT）技術進行圖像采集。ZYGO GPI-LC能夠檢查5微米到7.5毫米大小的結構。它利用先進的白光幹涉測量技術,可以捕獲3 D圖像並自動創建整個結構的3 D曲面映射。該機還配備了一系列圖像處理算法，如基於線掃描和圖像密度的算法，使其能夠精確檢測和分析結構。GPI LC工具的主要部件包括曝光和掃描光學模塊、探針掃描儀和CCD線掃描相機。曝光模塊配備了光學資產、白光源、DLP投影模型、自動光學對準設備以及高幀率電動舞臺。掃描模塊包括探針和手寫筆以及CCD線掃描攝像頭兩個組件。探針和手寫筆可實現精確的3D成像,面積為10毫米平方。CCD線掃描攝像機以每秒6億像素的速度捕獲幀,從而實現極高的分辨率成像。GPI-LC系統的主要目的是提供光學薄和復雜結構的成像和檢查。該裝置的設計具有很高的吞吐量，不會對結構造成掃描損壞，並捕獲被檢查結構的高度精確的3D表面圖。該機器還允許進行多層次的檢查，從總尺寸和表面完整性測量到原子層和薄膜測量。ZYGO GPI LC工具是掩模晶圓檢測技術中的一個尖端工具。它是一項先進的資產,可實現光學薄結構的自動化、高通量、3D成像和分析。該設備具有自動光學對準模型和高幀速率的電動舞臺,能夠精確地捕捉3 D圖像並創建高精度的3D曲面圖。該系統具有先進的圖像處理算法，能夠對結構進行精確、快速的檢測和分析。ZYGO GPI-LC單元是用於掩模和晶圓檢測目的的理想選擇。