二手 ZYGO GPI XP #293668228 待售

ZYGO GPI XP是一種先進的掩模和晶片檢測設備,旨在在廣泛的晶片和掩模上提供最佳的3D計量性能。利用雙探針技術與動態波長校準相結合，在所有晶圓類型上實現亞微米級分辨率，並提供高精度的非接觸圖像。其自動化計量解決方案顯著降低了晶圓檢測的復雜性，導致高吞吐量和低擁有成本。ZYGO GPIXP系統基於先進的光學、電子和力學技術，旨在獲取、處理和分析亞微米級別的數百萬個數據點。它將兩個集成的激光探針與一個自動聚焦單元結合在一起，這樣可以在晶圓或掩模的內外表面同時采樣。此外，它的高速掃描技術允許快速、非接觸式的數據采集，以及在一次掃描中測量多個結構的能力。GPI-XP機器還具有先進的數據處理和計算算法，可以可靠地檢測和分析晶圓或掩碼內的任何缺陷或不均勻性。它還包括自動掩碼對準和對準校正，進一步支持高精度計量。該工具還具有帶有分析Dashboard™的直觀用戶界面,便於數據檢索和控制。它還提供全面的文檔功能,使客戶能夠跟蹤多次掃描的結果。它還設計為高度可配置,以滿足每個客戶的特定需求。GPI XP資產除了內置功能外，還附帶了先進的計量軟件，產生全面的測量報告。軟件還包含一套允許自定義的軟件工具，可用於優化尺寸和輪廓測量、晶圓清潔度和註冊等應用的檢查策略。綜上所述，ZYGO GPI-XP是一種結合了先進光學、電子和力學技術，提供亞微米精度的先進掩模和晶圓檢測模型。它具有2D和3D非接觸成像、自動聚焦和對齊以及生成精確報告的全面軟件解決方案。它非常適合需要跨多個晶圓和掩碼進行準確、可追蹤和可重復測量的應用。