二手 ZYGO GPI XP #293757767 待售

ZYGO GPI XP是一款高性能、功能齊全的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足當今半導體行業的苛刻要求。它提供了全自動檢測、缺陷分類和識別、2D缺陷分類和3D缺陷量化等高級功能。該系統能夠檢測整個晶片中的缺陷,包括蒙版和陰影圖像,其範圍不超過200 nm。該單元的核心是一個全彩色的可編程顯微鏡，它提供了更高的光強度，精度和更嚴格的控制焦點。該光學顯微鏡配有過程控制和數據分析軟件的集成機器。嵌入式軟件層通過提供更輕松的用戶界面和易於操作來簡化工具。ZYGO GPIXP附帶了對齊、缺陷檢測和分類等多種自動化流程步驟。圖像處理算法是為快速準確識別多種缺陷而設計的。高級功能包括檢測互連線、3D功能和宏功能。GPI-XP還具有能夠將表達缺陷類型分為各自類別的高級分類算法。流程摘要工具提供了多個分析運行之間的快速比較,從而允許在缺陷類型和大小方面進行更大範圍的比較。GPI XP除了具有復雜的缺陷檢測和分類能力外，還包括用於現場測量、缺陷密度測量和信號驗證的模塊。它還包括一個自動對焦跟蹤功能，以提高測量精度和更高的圖像質量。總之，GPIXP是一種先進的模塊化掩模和晶片檢測資產，它提供了一個全面的特性和復雜的算法集合，以確保高質量的產品的生產。其光學和軟件系統旨在最大限度地減少錯誤缺陷檢測，同時最大限度地提高吞吐量和工藝精度。無論是用於掩模還是晶片檢驗，ZYGO GPI-XP都提供了完成幾乎所有檢驗任務的靈活性和可靠性。