二手 ZYGO Mark GPI-XPS #293617695 待售

ZYGO Mark GPI-XPS是一種掩模和晶片檢測設備，旨在提供快速準確的缺陷檢測，並提高光刻產量。該系統先進的成像能力使其能夠在廣泛的波長範圍內捕捉高質量的圖像，其精密的分析算法甚至可以檢測最小的光刻缺陷。標記GPI-XPS具有全場組光學成像模式，允許擴展視場檢查。它還提供了多個bin-fault映射工具,使用戶能夠自定義其檢測條件。此外,該單元還具有實時聚焦調整功能,使其能夠快速高效地捕獲各種圖案和形狀的清晰圖像。ZYGO Mark GPI-XPS包括一個雙站物鏡，允許同時成像兩個不同的晶片。這種雙站成像使得單次移動就更容易檢測晶圓兩個區域的缺陷。物鏡提供高達500倍的圖像放大倍率，使用戶能夠觀察到小至1.5nm的缺陷。機器還提供了多種圖像分辨率模式，可以捕獲2D和3D圖像。在3D模式下,該工具收集曲面地形信息,使用戶能夠深入了解樣本的結構和輪廓。它還提供了一系列圖像處理和分析工具，包括自動校正、EDSEM/ZZ-SAF、3DTEM/FTAT和其他環路檢查工具。總體而言,Mark GPI-XPS是一項非常可靠和可靠的資產,為下一代光刻工藝提供快速準確的缺陷檢測。它使用戶能夠快速高效地直觀地驗證晶圓和掩模模式,從而幫助提高產量和吞吐量。