二手 ZYGO Mark GPI-XPS #9115906 待售

ZYGO Mark GPI-XPS
ID: 9115906
Interferometer Camera: 1k x 1k.
ZYGO Mark GPI-XPS設備是一種先進的掩模和晶圓檢測系統,旨在幫助半導體制造業滿足最新的工藝要求。它提供自動對準和高分辨率成像,以精確測量晶圓和掩模上的微小缺陷。它能夠對亞微米級設備上的小細節進行精確測量。該單元具有按人體工程學設計的工作區,允許簡單的樣品準備、對齊和測量。它包括一個用於自動自動對準的雙區域單臂操縱器、用於高分辨率成像的高靈敏度CCD相機,以及一個方便用戶界面的大型液晶觸摸屏。Mark GPI-XPS能夠測量缺陷類型,如周期性像差(邊緣失準、起伏)、光束傾斜誤差、偽紋理圖案、劃痕和散射效應。該機器具有高速奇異化能力,用於分析晶片上的單個芯片。ZYGO GPI-XPS工具還提供高放大成像功能,可用於缺陷拓撲分析的缺陷尺寸測量和三維(3D)輪廓。利用發射激光顯微鏡探測缺陷部位,測量電子束或離子束輻照的模式。ZYGO Mark GPI-XPS資產具有多種高級功能,非常適合半導體行業的應用。它的自鎖功能確保所有樣本都牢固地固定在適當的位置,而直觀的用戶界面可幫助操作員快速學習如何操作模型。設備還配備了高速掃描儀,讓操作員可以在幾秒鐘內查看整個晶片。Mark GPI-XPS系統是任何涉及半導體行業的企業的理想投資。它提供準確和一致的測量,並提供易於使用的界面,使其適合任何體驗級別的用戶。憑借其先進的特點,ZYGO Mark GPI-XPS單元是滿足半導體制造業嚴格要求的可靠高效方式。
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