二手 ZYGO Mark II #76460 待售

ZYGO Mark II是一種用於半導體晶片和掩模檢測的掩模和晶片檢測設備。它是光學、物理和電氣技術的結合。該系統由掃描顯微鏡、光學激光幹涉儀和視覺檢查模塊組成。掃描顯微鏡用於檢測樣品中的表面缺陷。光學激光幹涉儀用於測量樣品尺寸、表面平坦度、表面曲率等臨界參數。視覺檢查模塊用於檢查樣品的對準、表面和微觀結構。顯微鏡的光學元件被設計成提供高分辨率的圖像。激光幹涉儀用於測量垂直和橫向位置，以及整個樣品表面的高度變化。該單元還有一個數字編碼器，用於測量距離、速度、溫度和位置。Mark II機器能夠檢測到廣泛的表面缺陷如顆粒物汙染物、針孔和空隙，以及更細微的缺陷如表面粗糙度和缺陷大小分布。利用其數字成像軟件，該工具可以快速生成大量圖像進行分析和比較。資產還可以檢測樣品電氣行為的異常，如電阻增加或短褲的存在。這允許在試樣的電氣測試過程中檢測缺陷。ZYGO Mark II模型還能夠測量廣泛的機械應力，如表面應變、應力梯度、斷裂韌性和可塑性。它可以測量應力濃度，以及樣品的應變能。該設備設計為完全自動化並在生產過程中運行。控制界面允許用戶對系統的運行進行編程、執行和監控。它可以用來為一個特定的應用程序設置單元，或者在一個系列中運行多個操作。Mark II是一款前沿掩模和晶圓檢測機，結合了光學、物理和電氣技術，為半導體制造提供了全面的解決方案。它具有多種多樣的特點，能夠快速準確地檢查各種半導體晶片和掩模，使其成為復雜半導體結構可靠性和質量保證的理想工具。