二手 ZYGO Mark III #76467 待售
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ID: 76467
Interferometer
Zoom 1x - 6x
Remote control for Zoom, Focus, fast switching between Align and View mode
Aperture 4" (102mm)
Including 4" Phase Shifter from Zygo
Including high voltage amplifier from ASTRO ELECTRONIC, built into the MK-III
Line voltage: 120V or 230V
For interferogram analysis: IntelliWave Software from Engineering Synthesis Design, Inc. is recommended (not included)
The original Vidicon camera has been replaced by a modern CCD camera, it's a SONY XC-ST51CE:
Vertical 50 Hz, horizontal 15625 Hz, alternatively a 60Hz camera is possible too
Transmission sphere is not included.
ZYGO Mark III是一種高精度計量工具，在晶圓和掩模檢查中提供無與倫比的精度和準確性。它是一種光學、非接觸成像設備，用於測量晶圓、掩模、光掩模和其他基板上的微觀特征。該系統具有高質量的光學設計、高性能成像單元和先進的軟件算法。Mark III基於獨特的成像架構，它結合了光學透鏡和衍射光學元件（DOE）。這些元件提供了低失真的高分辨率圖像，有效消除了傳統鏡頭設計中發現的色差。成像機被設計成捕獲各種基材的高度詳細的圖像。它可以檢測很小的粒子，測量表面粗糙度，量化光散射特性。它還具有廣泛的檢測能力，例如檢測包括塵埃、離子、分子和薄膜在內的各種粒子。晶圓和掩碼檢查軟件算法允許用戶快速檢測缺陷，優化流程，識別肉眼可能看不到的不良特征。ZYGO Mark III采用數字信號處理（DSP）技術,在測量中提供卓越的穩定性和準確性。它有一個實時的128點相位補償工具和一個先進的噪聲抑制（ANR）算法。這兩項功能確保測量的精度和準確性,並提供更精確的圖像。該資產還提供了許多用戶友好的功能,例如自動對焦、自動平整和屏幕校準。Mark III是提供高度精確和精確測量的高級模型。它可用於快速檢測缺陷和優化各種檢測應用中的過程。憑借其最先進的光學設計、高性能光學成像、先進的軟件算法以及精確的測量，ZYGO Mark III是一款極其可靠、精確的晶圓和掩模檢測設備。
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