二手 ZYGO Mark IV #9292128 待售

ZYGO Mark IV是一種用於半導體制造工藝的掩模和晶圓檢測設備。它是一種自動化的多傳感器檢測工具,可對各種材料進行全面的缺陷檢測。該系統結合了幾種先進的成像技術，為用戶提供無與倫比的準確性和分辨率。激光幹涉顯微鏡（LIM）用於檢測表面缺陷，而一個稱為自動模式識別（APR）的高級模塊用於檢查掩模和晶片是否存在光刻相關缺陷。此外，使用散焦靈敏度成像（Defocus Sensitivity Imaging，DSI）來提供微米下的粒子和小缺陷檢測，而使用電荷耦合器件（CCD）相機來捕捉廣角、圖樣特定的缺陷。這個單元還配備了幾個用戶友好的功能，包括自動缺陷分類和一個詳細的缺陷庫。該庫包含對以前目標的測量，從而能夠對類似目標進行快速和高效的檢查。為進一步減少缺陷報告過程中的錯誤並提高準確性，該機結合了幾種缺陷過濾算法，可以根據用戶的檢查要求進行調整。在自動化方面,Mark IV具有自動刀具居中過程（ATC）和缺陷分割刀具（DST）等功能,有助於簡化刀具的設置和操作。此外,「自動缺陷映射」（ADM）工具用於創建可在任何地方使用的全面缺陷密度映射。該資產還提供基於Web的報告功能,允許用戶從單個屏幕快速、輕松地訪問與缺陷相關的數據。除了為用戶提供全面的功能陣列外，ZYGO Mark IV還設計用於連續運行，確保最大正常運行時間和效率。該型號還具有模塊化設計,允許用戶在檢查需要更改時輕松且經濟高效地升級設備。總之，Mark IV是一個全面的、自動化的掩模和晶圓檢查系統，為用戶提供無與倫比的檢測精度和分辨率。該設備具有先進的成像和缺陷過濾功能,非常適合用於各種制造過程。