二手 ZYGO MicroLUPI #9280679 待售
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ID: 9280679
Interferometer
Worktable
Vibration isolation table
Laser power supply
Motor driver assembly
X/Y stage
Motion controller
Power manager.
ZYGO MicroLUPI-口罩和晶片檢測設備是高分辨率口罩和晶片檢測技術的突破口。通過直接可視化任何尺寸或類型的掩模或晶片上的微觀缺陷，提供了無與倫比的缺陷檢測和修復精度。該系統可以檢測到尺寸小於1納米的缺陷，使操作員能夠快速準確地識別和定位每一個缺陷。MicroLUPI單元由先進的硬件和軟件組件組成，允許對晶圓或掩碼進行快速準確的預測試和分析。這包括高級光學、自動模式識別算法和專用軟件。軟件可以提供掩碼或晶圓的虛擬表示，允許用戶以3D形式可視化缺陷。這種技術組合使用戶能夠檢測到最小、最具挑戰性的缺陷。該機器利用專利圖像放大硬件和軟件來分析多級掩模或晶片。用戶可以將放大倍數調整到15,000倍,以明確識別和定位缺陷。該工具可以在短短幾秒鐘內捕獲多達800張圖樣區域的圖像,以便用戶可以快速獲取整個掩碼或晶圓的詳細視圖。資產可以同時檢測拓撲和尺寸缺陷，使用戶能夠辨別材料拓撲和厚度的差異。ZYGO MicroLUPI的精密檢測算法旨在自動識別和量化每一個缺陷。該過程采用專門的光學、復雜的圖像識別軟件和強大的模式識別算法，使操作員能夠檢測和分類獨特的缺陷。然後存儲此數據以進行進一步分析,或者可用於立即修復缺陷。總體而言，MicroLUPI是一種強大而精確的掩模和晶圓檢測模型。它提供超高分辨率來檢測和修復最小的缺陷,同時提供對掩模或晶片的徹底分析。這種多功能性使用戶能夠輕松分析復雜的結構和簡單的模式。總之，ZYGO MicroLUPI是檢測和修復即使是最困難和最小的缺陷的完美解決方案。
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