二手 ZYGO NewView 100 #85137 待售

ZYGO NewViewTM ZYGO NewView 100 Mask and Wafer Inspection設備是一種基於光學顯微鏡的高分辨率成像解決方案,旨在檢查半導體光掩模和晶片的每一個元素。它具有一個大型的5軸電動成像臺,具有精確對準和晶圓分級系統,可確保準確性和可重復性。NewView TM ZYGO 100還包括直觀的用戶界面以及自動檢查和缺陷識別軟件,確保快速高效的結果。該單元采用45度角視鏡，橫向分辨率為1.2 μ。它擁有最大的2000X放大倍率，以及利用24位彩色CMOS相機的快速數字成像機。設備的自動圖像捕獲和分析功能使其能夠快速準確地識別光掩模或晶片上的任何缺陷。它還能夠在一次曝光中檢測出明顯的缺陷，並能識別出需要將同一晶圓中的幾個圖像縫合在一起的復雜缺陷。NewView TM NEWVIEW100具有內置的4百萬像素數字光學傳感（DOS）工具,用於非接觸式光學計量測量。這樣就可以對掩模或晶片幾何形狀進行全面而準確的分析,並可以跨各種視覺和結構特征識別缺陷。它甚至具有0.1 nm分辨率測量層均勻性和記錄邊緣完整性的能力。這種基於視頻的檢測資產是為快速缺陷隔離和分析而設計的。該模型可用於缺陷檢測、缺陷表征、掩碼與掩碼的比較以及過程流的自動分析。此外，它還可用於評估光刻性能、線緣粗糙度和制造過程中光掩模和晶片的圖樣保真度。ZYGO NewView TM NewView 100是一款高性能成像和計量設備,提供卓越的性能和準確的結果。系統的用戶友好界面、自動缺陷識別和直觀分析功能確保了快速高效的半導體掩模和晶圓檢測。