二手 ZYGO NewView 5000 5022 #9203844 待售
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已售出
ID: 9203844
Optical 3D surface profiler
(2) Objectives: 10x, 50x
Additional manual zoom range: 0.4 to 2.0
3 Dimensional high precision measurement
Reference standards: Step height by VLSI
Microscope imaged details with surface profiler
Non-contact scanning white light interferometry
Computer non-functional
Computer missing.
ZYGO NewView 5000 5022是為半導體晶片中的IC結構精確測量而設計的高性能掩模和晶片檢測設備。該系統能夠檢查晶圓安裝框架結構和側壁結構。該單元由高分辨率成像路徑組成,包括低噪聲CCD成像陣列、光學顯微鏡和成像光學器件。成像光學機包括物鏡、二向色濾鏡和0.25X至5X的固定放大倍率。該成像路徑旨在提供出色的對比度靈敏度和高水平的細節,同時最大限度地減少背景圖像噪聲。該工具還具有自動聚焦和圖像縫合功能,以確保整個晶圓的圖像一致。對於復雜的缺陷檢測,資產提供了多種自動對比度增強工具,包括銳化過濾器、二值化和平滑。該模型還采用了一系列的可檢測性分析工具,包括可以檢測氧化物線缺陷、電路元件缺失、橫向氧化物裂紋等缺陷類型的模式識別工具。此外,該設備還包括一個用於精確測量側壁輪廓和幾何變形的3D檢查器。3D檢查器還提供了一個關鍵尺寸測量,用於評估單通道過程中側壁尺寸的精度。該系統有一個綜合的測量和分析屏幕,為用戶提供分析他們的檢查結果的能力。分析屏幕允許用戶為檢查參數設置特定公差,並獲得被檢查晶片整體基線性能的準確報告。此外,該單元允許比較跨多個晶片的示例IC,以確保性能一致。為了滿足行業要求,該機器符合一系列國際標準,例如最新的ISO9000準則。該工具還具有內置的安全性和可追蹤性功能,可在執行測量和檢查時確保數據隱私和可追蹤性。總體而言,NewView 5000 5022是一項先進的掩碼和晶圓檢查資產,旨在提供出色的對比度靈敏度和細節檢測、自動聚焦和圖像縫合、側壁3D檢查和關鍵尺寸測量,以及一系列分析和報告功能。該型號符合國際標準,具有一系列可追蹤性和安全性特征,非常適合半導體行業的制造、檢驗和質量控制。
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