二手 ZYGO NewView 5000 #9008672 待售
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已售出
ID: 9008672
Interference Microscope
Dell PC installed by OEM
Win 7.0 and MetroPro 9.0.10
Includes:
(6) indexed positions of image zoom
Includes (3) objectives
Manual X/Y and tip/tilt stage with motorized Z-axis with turret
Includes vibration isolation table with workstation desk
Profile heights ranging rom >1 nm up to 5000 um at speeds up to 10 um / s with 0.1 nm height resolution, independent of magnifications and feature height
Variable image zoom
5-position manual or motorized turrets capability
Profile areas up to 50 x 50 mm and larger
Image stitching capabilities
Closed-loop prezo-based scanner
Highly-stable metrology
Ultra-rigid support structure
Granite base foundation
Reduced footprint dynamically stabilized vibration isolation table
Fully integrated ergonomic workstation
Gage capability
NIST-traceable standards
Interfaced to Pentium based PC
Password protection on applications
Various standard and optional automation modules
Programmable stages
Standard and custom sample fixturing
Integrated autofocus.
ZYGO NewView 5000是一款功能強大的面罩和晶圓檢測設備,可執行一系列檢測任務。它可以進行前端分析以制造標線和掩模,並結合了光學、掃描電子顯微鏡（SEM）和拉曼光譜等各種成像技術,便於進行多層檢查。該系統采用創新的光學成像技術，為不透明樣品和3D結構提供卓越的分辨率和對比度成像。這允許檢測微粒、缺陷和變形，並允許對納米級以下的材料進行高精度成像。ZYGO 5000通過其最先進的掃描電子顯微鏡（SEM）提供增強的檢查能力。這包括在實時操作中提高高達200納米的成像分辨率，以及5納米的卓越成像分辨率。這使得它非常適合檢查高分辨率的模式和結構,以及實現缺陷查找和組件評估。該單元還可以進行拉曼光譜（RS）分析材料組成。這種無損技術被用於各種應用，如識別外來材料和汙染物，確定沈積過程的均勻性，以及驗證層的變化。NewView 5000還提供全面的軟件套件,可實現自動模式識別、復雜的圖像處理和粒子分析。此直觀軟件能夠檢測和測量晶圓、標線和掩碼上的物理缺陷,以及不透明材料和3D結構的陣列變化。本機機械設計優越，操作簡單，晶片裝卸方便，更換樣品。它還提供了處理各種形狀和大小的厚晶片、標線等基板的靈活性。5000提供了當今市場上最高性能的面罩和晶圓檢測能力。它是確保晶圓制造過程中獲得最高質量結果以確保設備性能準確的必要工具。
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