二手 ZYGO NewView 6000 #9279845 待售
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ZYGO NewView 6000是一款功能強大且用途廣泛的掩模和晶片檢測設備,可提供高分辨率成像和自動缺陷檢測。它能夠以亞微米分辨率檢查尺寸達300毫米(mm)的樣品,是半導體工業檢驗應用的理想選擇。系統使用高分辨率立體光學成像、照明和焦點控制。它配備了一個專有的振動CCD攝像機,能夠對兩個攝像機進行全區域掃描和同時操作-一個用於自上而下的成像,另一個用於自下而上的成像。該單元可實現1.0、1.2、1.5、2.0、2.5、3.0和6.0微米的亞微米水平分辨率,0.5、1.0和1.5微米的垂直分辨率,以極精確可靠的最高分辨率提供成像能力。在缺陷檢測方面,機器包括一套自動化工具和高級算法,能夠快速準確地檢測缺陷。它具有光掩碼和晶圓叠加比較功能、破碎的定心檢測、嵌入特征的晶圓掃描成像以及由於汙染、厚度變化和邊緣缺陷而導致的拒絕。易於使用的用戶界面允許快速設置和準備測試樣本。該工具還帶有各種優化工具和分析特征,用於數據勘探和缺陷分析。它可以與一系列外部測試設備集成在一起,以進行更全面的資產測試和表征。最後,模型采用模塊化結構進行設計,以便可以根據需要添加和交換不同的組件。它還與一系列用於圖像采集和分析以及實時監控和控制的軟件包兼容。NewView 6000是一款功能強大的掩碼和晶片檢查設備,可提供高分辨率成像和自動缺陷檢測,是各種檢查應用程序的理想選擇。
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