二手 ZYGO NewView 7300 #9276460 待售
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ID: 9276460
3D Optical profiling system
Stage, 8"
Mega pixel camera:
Automated 3-position multiple system
With 1.0x Zoom lens
Low noise
Large field
Digital closed loop piezo scanning
Transducer
Capacitive: 150 Micron scan
Illuminator with LED
Accommodates objectives: 1x - 100x
Extended scan, 20 mm
Vertical res: < 0.1 nm
RMS Repeatability: < 0.01 nm
Accessory:
6-Axis Base stage
Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included
Travel:
X / Y, 8"
Z, 4"
Rotation: +/- 90 Degree
PR travel: +/- 4 Degree
Options / Accessories:
Part number / Description
6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system
6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens
6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens
6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated
1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH)
6300-2080-01 / Workstation table
6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA)
1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter)
1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration
1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300是一款高端的掩模和晶圓檢測設備，開發用於為掩模制造商和半導體制造商提供穩健、可靠、經濟高效的解決方案。它是一個完整的晶圓和掩模檢查系統，由幾個最先進的組件組成。該裝置具有先進、精確的光學子系統，用於掩模、矽片和平板的高速成像。光學配置使用四個明亮、脈沖、一毫米波長的LED來擴展靈敏度和寬視野。此外,該機器還使用ZYGO獨有的專用光學引擎,以實現最大的晶圓覆蓋範圍。ZYGO NEW VIEW 7300還提供32位雙核處理器,具有512 MB RAM,可實現亞微米分辨率和速度,用於大芯片幾何形狀的高通量篩選和分析。該工具采用了獨特的具有混合色差還原（C.A.R）技術的真實圖像捕獲技術,以提高精度和分辨率。所包含的設備和材料參數設置庫支持大型多供應商操作,以實現生產產量的最佳性能。資產附帶了多種分析工具，包括幾種成像分析、統計分析、多維圖像切割和光譜收益率分析功能。直觀的用戶界面提供了強大的自動化功能,允許對關鍵缺陷進行詳細和快速的審查。它還支持缺陷的大模具檢測、故障分析以及過程缺陷診斷和修復。NewView 7300還提供了幾種用於處理大型晶片的高級功能,並支持多個腔室設置。多層掩模檢測模型單通最多可檢測10層，而全晶片檢測設備單通最多可處理25層，系統利用X、Y、Z棱鏡堆棧的專利陣列進行歸位和跟蹤，以及幾何尺寸計量。NEW VIEW 7300還與幾個晶圓處理子系統兼容，包括自動晶圓傳輸和傳輸、多托架負載端口和樣品準備系統。它可以與各種第三方自動化系統集成，允許晶片的傳輸和跟蹤而無需人工幹預。最後,該單元設計方便維護,設計緊湊,備件要求最低。總之，ZYGO NewView 7300是一款功能強大的蒙版和晶片檢測機，旨在提供最快、最高效的方式來監控蒙版性能、晶片幾何形狀和特征尺寸。它為高通量篩選和產量分析提供了先進的功能、令人難以置信的準確性和靈活性。
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