二手 ZYGO Verifire AT #9222106 待售
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已售出
ID: 9222106
優質的: 2002
Interferometer
OS: Windows 10 64 bit
Measurement capability: Measures surface & transmitted wavefront
Measurement techniques: Vibration tolerant phase shifting interferometry
Alignment system: 2-Spot with reticle with 2° capture range
Test beam diameter: 4" (102 mm)
Optical centerline: 4.25" (108 mm)
Laser source: Un-stabilized 633 nm HeNe, Class IIIa
Camera resolution: 1000 x 1000 Pixels
Shutter speed shortest: 20µs
Digitization: 10 bits
Image resolution: 400 µm Over entire FOV (Optically limited)
Image distortion: Up to 2% over entire focusing range
Focus range: ±2 Meters
Mounting configurations: Horizontal / Vertical
Performance:
RMS Repeatability: <0.5 nm RMS 2 - With NO averaging
RMS Wavefront repeatability: <0.4 nm RMS 2 - With NO averaging
Fringe resolution / Slope: >1.5 Fringes/mm / > 150 fringes across aperture
Retrace error @ maximum fringes: 0.13 Waves
Operating environment:
Temperature: 15° to 30°C (59 to 86F)
∆T/∆t: <1.0 °C/15 min
Humidity: 5 - 95% Relative, non-condensing
Vibration isolation: Isolation system recommended for PSI
2002 vintage.
ZYGO Verifire AT是用於掩模和晶圓檢驗的先進工具。它提供了透明和反射表面如晶圓、掩模和其他平面樣品的高性能分析。Verifire AT是精密工程、前沿光學、先進控制系統交集的產物。它有一個直觀的用戶界面，可以方便新手和高級操作員操作。ZYGO Verifire AT的核心是光學成像設備和自動檢查控制器。其中心光學成像系統采用了獲得專利的高壓空氣承載顯微鏡，提供直徑可達220mm的樣品亞微米分辨率。這種顯微鏡利用兩個獨立的軸來提供立體成像，這種成像通常比傳統的光學顯微鏡產生更高的精度和更精確的圖像。由於立體聲成像需要兩個獨立的圖像，Verifire AT利用了獲得專利的雙易貨裝置，從而不需要圖像縫合。自動檢查控制器允許檢查過程完全自動化。具體來說,ZYGO Verifire AT提供自動化的步驟和重復、後處理和校準功能。自動步驟和重復操作使用戶能夠快速準確地捕獲樣本的一系列圖像。後處理特性包括對比度優化和自動缺陷檢測，兩者都通過使用雙易貨效應大大簡化。最後,Verifire AT提供了幾種全自動校準工具,以確保正確縮放、對齊和聚焦圖像。ZYGO Verifire AT還為需要測量樣品詳細特征的人配備了高度精確的微米測量機。這個微米工具直接集成到用戶界面中，提供快速的測量和準確的結果。最後,Verifire AT設計為可擴展的。它可以很容易地適應個別使用者的需要。它的模塊化設計允許用戶只購買和安裝所需的組件,從而便於定制和升級。ZYGO Verifire AT是一種通用可靠的掩模和晶圓檢測資產。它能夠以最小的努力提供精確的成像和徹底的檢查。Verifire AT具有易於使用的界面、可擴展性和精確的測量模型,是任何檢驗實驗室的理想工具。
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