二手 ZYGO Verifire MST #293633210 待售
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ZYGO Verifire MST是一種主要用於半導體工業的掩模和晶圓檢驗設備。該系統利用精密光學成像和測量技術提供無與倫比的視覺檢查能力。Verifire MST將掃描電子顯微鏡(SEM)與先進的模式識別算法集成在一起,以快速有效地準確識別蒙版、晶圓等表面上的缺陷。該裝置包括一個精確的光學成像機,能夠以極高的精度聚焦樣品上的圖樣、紋理和特征。這種成像技術利用多個波長來提供樣品的復合圖像,用於先進的缺陷檢測。ZYGO Verifire MST提供對大量數據的控制和分析,以精確檢測各種掩碼和晶圓類型上的缺陷。其特點包括用於樣品定位和運動的4軸級、自動晶片盒式裝載機和卸載機,以及用於對每個樣品進行高精度測量的自動校準器。該工具的軟件包括各種檢查工具,包括用於自動檢測樣本中缺陷的模式識別模塊。軟件還提供數據的高級統計分析和對用戶界面的完全控制。軟件能夠生成詳細的缺陷匯總報告和其他缺陷分析報告。此外,Verifire MST還為樣品的處理和評估提供了多種補充功能,如用於計量和清潔度分析的殘留成像、用於確定缺陷概率的缺陷分類工具以及用於識別弱鏈的掩模故障檢測模塊。ZYGO Verifire MST能夠快速掃描大量數據,在沒有人工幹預的情況下準確處理缺陷。其優越的光學成像技術能夠對掩模和晶圓樣品進行快速、準確的分析,而其缺陷分析和統計分析工具則提供詳細的報告,以方便高效的制造操作。
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