二手 NIKON MX-61 #9150938 待售

NIKON MX-61是一種高通量晶圓步進器。它非常適合大規模生產，特別是在需要精確光刻的半導體工業中。MX-61可以可靠地處理多達6英寸的晶片,並且具有出色的圖像質量,位置精度為3.2微米。它能夠以極高的分辨率進行高端曝光，從0.75微米到0.10微米。吞吐量也通過優化的掃描矢量設計最大化。NIKON MX-61還擁有一個獲得專利的F-Theta鏡頭，在整個掃描領域保持出色的圖像質量。這樣可以防止不需要的失真,並允許精確的字段校正。它還能精確控制焦點和散光,即使在生產過程中也是如此.在操作方面，MX-61支持精確跟蹤晶片的位置和旋轉及其電動線性級。這樣可以防止不均勻的曝光,並允許精確的層對齊。此外,NIKON MX-61還通過其診斷軟件支持遠程監控以進行預測性維護。在維護方面，MX-61有防塵外殼，並提供長期使用的高質量空氣過濾器。它的空氣軸承設計還最大限度地減少了施加的力，並確保了最小的摩擦，允許低功耗。此外，它還有一個CCD成像系統，允許人工檢查，總放大倍數可達10倍。總而言之，NIKON MX-61是一種高質量的晶圓步進器，為大規模生產提供精確的光刻技術。憑借其先進的技術和特點，是半導體產業和其他相關產業的理想選擇。