二手 VEECO Contour GT-X3 #9248833 待售
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單擊可縮放
ID: 9248833
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2011
3D Optical microscope, 8"-12"
Manually loaded
X,Y Stage: 12" x 12"
Field of view: 0.5 mm to 2.0 mm
Auto tip tilt stage
(4) Motorized position turrets
Maximum scan range: Up to 10 mm
PC
Operating system: Windows 7
Vertical resolution:
0.05 nm (Motor)
0.01 nm (PZT)
RMS Repeatability:
0.01 nm (Motor)
0.004 nm (PZT)
Lateral resolution:
0.38 μm Minimum (Sparrow criterion)
0.13 μm (With AcuityXR)
0.01 μm (With NanoLens)
Step height accuracy: <0.75%
Step height repeatability: <0.1% 1 Sigma repeatability
Maximum scan speed: 114μm / sec (With standard camera)
Sample reflectivity: 0.05% - 100%
Maximum sample slope
Shiny surfaces: Up to 40°
Rough surfaces: Up to 87°
XY Sample stage: 8" Automated
Encoders: 0.5 μm
Z Focusing, 4" Automated
Tip / Tilt function: ±6° Automated
Computer-controlled tip / Tilt head
Optical metrology module:
Patented dual-LED illumination
Single-objective adapter
Optional automated or manual turret
Objectives:
Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x
LWD: 1.5x, 2x, 5x, 10x
TTM: 2x, 5x, 10x, 20x
Bright field: 2.5x, 5x, 10x, 50x
Zoom lenses: 0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x Auto-sensing modules
Camera:
Standard monochrome: 640 x 480
High-resolution monochrome (Option): 1392 x 1040
Color (Option): 640 x 480
XY Automation:
Automated stitching scatter and grid automation
Calibration via traceable step standard
2011 vintage.
VEECO輪廓GT-X3是一種先進的自動化掃描電子顯微鏡（SEM），旨在為用戶提供卓越的成像性能。它利用高壓電子能量、多軸、自動采樣級掃描以及顯微鏡元件的細致對準等三個主要成分組成了SEM的技術。其主要應用是研究具有高分辨率成像能力的納米尺度表面特征。輪廓GT-X3的主要成分是電子光柱、樣品級和樣品支架。電子光學柱包括聚焦電子光學和槍、柱的玻璃包絡和浸沒透鏡。采樣級由3軸自動采樣運動組成,X、Y和Z軸的範圍為± 20mm。該采樣級包括二級和三級電子探測器，這使得樣品特征的高分辨率成像成為可能。樣品架設計用於容納各種樣品介質，包括晶片、玻璃滑梯和其他材料。除電子光柱和樣品級外，VEECO輪廓GT-X3還包括專門的電子束精確對準和自動圖像采集控制和采集系統。控制和采集系統通過控制顯微鏡的樣品移動、探測器測量、數據采集、軟件功能和遙控，進一步增強了顯微鏡的成像能力。輪廓GT-X3允許用戶訪問各種功能,如自動圖像配準、高級組織病理學和掃描光學對齊。此外，該儀器可以進行自動化和精確的測量，並具有實時圖像處理和分析的可能性。此外，顯微鏡為樣品的高速視頻成像提供了一個創新功能，為研究人員提供了全自動成像樣品或遙控顯微鏡在微觀和微觀中的操作的選項。總之，VEECO輪廓GT-X3是一種先進的自動掃描電子顯微鏡，旨在為用戶提供卓越的成像性能。它包含一系列功能,可實現最終用戶的多功能性和靈活性,並提供高級功能,如自動圖像配準、高級組織病理學和掃描光學對齊。輪廓GT-X3是任何需要可靠成像系統以獲取納米級高分辨率圖像的研究人員或工程師的理想工具。
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