二手 VEECO / DEKTAK Dimension X3D #9375522 待售
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VEECO/DEKTAK Dimension X3D是為精密半導體計量學而設計的功能齊全的實驗室顯微鏡。它結合了光學和掃描電子顯微鏡(SEM)功能、3D成像、高效的低真空和高真空模式以及自動制圖。其集成系統允許對整個晶片的結構進行深入分析,以及在線樣品制備和檢查。這使得它特別適合於確定微米和納米級結構的問題。該系統采用高精度光學和高速掃描級,以及先進的反射路徑檢測二次電子或切削刃並獲得亞納米分辨率。這種成像是通過使用消磁光學和低功率物鏡進行優化的,這些透鏡可以使半導體樣品的所有表面都成像或以3D方式進行研究。此外,X3D還包括一種獨特的低壓視圖技術,以便可以將樣品查看到3 nm分辨率。對於自動樣品映射,X3D使用一種稱為光子激發二次電子發射(PSEE)的特殊技術來檢測樣品的形態。PSEE允許比傳統方法(如地形成像)更快地映射樣品的地形。此外,還改進了X3D,以減少生成的二次電子的數量,並提供更平滑的圖像。該X3D還包括一套全面的軟件,可以用來控制顯微鏡,分析圖像,甚至記錄和分析數據。該軟件可用於顯示圖像和自動創建測量報告,以及確定樣本中是否存在故障和缺陷,以及其他感興趣的功能。此外,軟件還包括用於缺陷大小和形狀辨別的工具,以及缺陷分析技術。該X3D可以通過單個工作站進行控制,並且可以與自動系統(如試驗機)連接。這使X3D成為快速計量和過程控制應用的理想選擇。該X3D是一種功能強大且用途廣泛的半導體計量工具,可為用戶提供卓越的性能、耐用性和自動化功能。該X3D結合了VEECO和DEKTAK的專業知識和支持,使其成為任何高精度半導體計量應用的理想選擇。
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