二手 VEECO / DEKTAK SXM 320 #9248820 待售
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ID: 9248820
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
IBM Atomic force microscope, 8"
EQUIPE TECHNOLOGIES ATM-407 Handler system
Pre-aligner
Cables for controllers
SXM Control rack missing
1997 vintage.
VEECO/DEKTAK SXM 320是一款高精度的輪廓顯微鏡,具有廣泛的特點,旨在滿足半導體制造商的苛刻要求。它是一個3 D表面計量學系統,專門設計用於測量先進電移、薄膜和集成電路設備的地形。VEECO SXM 320由一個旋轉振動樣品級組成,距離在0-200微米之間.其先進的光學設備和精確的三維掃描功能可以準確測量平面表面樣品和復雜的地形特征。該系統利用高光圈物鏡和激光光源進行精確測量。激光聚焦在樣品上,反射光由同一物鏡收集。這提供了有關樣品表面地形的信息。該系統能夠以0.001-25 µm的各種分辨率進行掃描,並且可以支持300 mm × 300 mm的樣本量。此外,它還可以測量任何三維樣本,允許用戶在頂部和側面視圖掃描之間進行切換。DEKTAK SXM 320最大采樣率為0.8 Hz,可重復性為1.5 µm,最大景深50 µm。SXM 320配備了軟件套件,可用於分析和處理獲取的數據。顏色映射、橫截面分析、平均和平滑等特征可應用到掃描中,以便於分析。此外,該軟件還能夠將掃描的數據導出為多種格式。總體而言,VEECO/DEKTAK SXM 320是一款先進的剖面儀顯微鏡,專為滿足半導體制造商的苛刻要求而設計。其快速的掃描速度、廣泛的掃描分辨率以及能夠進行三維測量,使其成為測量先進電移、薄膜和集成電路設備地形的理想工具。
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