二手 AAT 9600 #155478 待售
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AAT 9600是專門為生產高質量、均勻的晶片而設計的「其他晶片加工」設備。該系統具有超低表面粗糙度值,以確保所生產的晶片具有市場上可用的最高紋理質量。9600可以加工不同尺寸的基板,從小到大不等(最多200毫米)。其頂級Metz Technologies P90旋轉電鍍頭確保厚度均勻、平面化均勻、間隙填充改善。基材保持在高度精確的位置階段,確保晶片的所有部分均勻處理。其工藝控制能力允許對沈積速率、厚度和均勻性進行精確調整。AAT 9600還具有許多自動控制功能,如報警報告、自動校準和遠程監控。這樣就可以對該單位進行遠程監測,提高其運作效率。機器還具有用戶友好的界面,允許用戶輕松控制過程參數,並對工具進行編程以優化性能。在晶圓處理能力方面,9600能夠進行空腔填充、沈積和塗層。資產還能夠執行若幹後處理步驟,包括化學機械平面化(CMP)、背面等離子體清洗和化學蝕刻。這些工藝還可用於沈積精確的介電膜、濺射拋光和紋理,確保高質量的晶片。總體而言,AAT 9600設計用於生產行業中表面質量、規律性和均勻性最高的晶片。其精確的過程控制和自動化功能可確保最佳性能和降低成本。此外,該模型還能加工不同尺寸的基材,成為生產性能可靠的優質晶片的理想選擇。
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