二手 ADT 977 #293621315 待售

ADT 977晶片加工設備是一個高性能、自動化的系統，專門設計用於運輸和加工不同大小和厚度的晶片。該單元由龍門式運輸機、靜止式引擎蓋、載重鎖、多個處理室和載重端口室組成。運輸工具采用xy臺式驅動和直線電機技術相結合的驅動，可精確控制基板的定位和基板從腔室到腔室的精確、快速移動。靜止發動機罩設有一個配有多個質量流量控制器的氣體分配網絡，用於精確控制過程和清潔氣體。將高性能晶片卡盤集成到資產中，可以根據應用指定真空或大氣卡盤的選擇。加熱負載鎖采用結晶石墨角設計，具有手動選擇器閥和自動閘閥，用於精確控制和快速切換腔室壓力。977室是高度可配置的，能夠執行各種不同的過程，包括沈積、蝕刻、升空、氧化、植入和清潔。工藝模塊都可以與主控制模型相連接，允許精確設置壓力、溫度和其他參數。負載端口室配備了一個清潔的、自動控制的傳輸端口，提供了控制進入工藝室的通道。ADT 977還包括視頻監控、自動化配方功能和全面的用戶界面,從而可以輕松直觀地操作流程。此外,該設備還具有緊急停止按鈕、全局關閉功能、互鎖開關和集成安全功能,旨在提供最佳保護,防止意外事件和潛在事故。977晶片處理系統為晶片的自動化處理、運輸和處理提供了經濟高效的解決方案。它是一個可靠、易於使用的單元，適用於微電子行業的廣泛應用。