二手 AIT VRS-150 #293648369 待售

AIT VRS-150是一種最先進的晶圓加工設備,其設計目的是在各種基材上實現薄膜和薄膜的精密、高度控制的沈積和蝕刻。它是廣泛的濕法和幹法、高容量和低容量晶圓加工應用的理想解決方案。VRS-150配備了一整套自動化、集成的流程工具和先進技術,使用戶能夠在最具挑戰性的流程環境中實現最高級別的流程控制和可重復性。AIT VRS-150具有模塊化、高級硬件、高級軟件和工藝技術,以及各種高度指定的制造組件。該系統提供了出色的一致性和過程控制,為用戶提供了一個高效的單元,以實現預期的結果。復雜的硬件配置確保用戶能夠精確地管理其晶圓處理。VRS-150還配備了先進的加熱機、先進的燒蝕和蝕刻系統、化學分析系統以及支持自動化工藝配方的其他先進工藝中間件。該工具能夠執行各種薄膜沈積技術，如濺射、蒸發和原子層沈積（ALD）。也可用於進行多種蝕刻技術，如反應性離子蝕刻（RIE）、化學機械拋光（CMP）、化學蝕刻以及其他各種晶圓加工任務。AIT VRS-150還為用戶提供先進的化學分析和過程監測系統，以提供過程控制和準確性。此資產可用於監控和調整工藝參數,並驗證所得薄膜的質量。VRS-150上的自動化流程配方和流程開發模式為用戶提供了易於使用的流程開發工具。它還為用戶提供實時過程控制、分析、反饋控制和數據分析。AIT VRS-150為用戶提供了針對各種薄膜沈積技術的完全自動化的過程功能,並為用戶提供了行業中無與倫比的過程復雜、可重復性和過程控制的獨特組合。除了先進的功能外,VRS-150還具有多功能性和經濟效益,為用戶提供了滿足其薄膜沈積需求的完整解決方案。它是各類晶片處理應用的理想解決方案，從簡單的批處理過程到苛刻的連續生產運行。